2)第二十一章 真空镀膜(下)_我有科研辅助系统
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  率升至30摄氏度,等待60分钟;

  第二阶段,以30摄氏度每分钟的速率升至400摄氏度,等待3分钟;

  第三阶段,以20摄氏度每分钟的速率升至520摄氏度,等待100分钟。

  确认无误后,他长按启动键,启动程序。

  升温程序需要跑一个多小时。

  在此期间,许秋向学姐请教了真空系统的工作原理。

  陈婉清讲解道:“机械泵,最多只能将舱内压强降至零点几帕,必须使用分子泵才能将压强降低至十的负五次方帕这个数量级,从而达到蒸镀实验所需的最低真空度要求。

  分子泵只能在低压强下使用。所以在压强大于20帕时,采用超真空挡板阀,阻隔分子泵和蒸镀舱连接;当压力低于20帕时将其关闭,再使分子泵和蒸镀舱连通。

  分子泵启动后,还需要较长的时间,才能使蒸镀舱内压强达到1E-5级别。

  这个时间在半小时至一个半小时之间。

  如果一个半小时过后仍无法达到这个真空度,通常有两种情况。

  一种是体系气密性不好,比如在关舱门时,门缝处夹了一个塑料膜;

  另一种是舱体内蒸镀残留物过多,需要清理。”

  虽然系统里也有影像资料供许秋学习,但他觉得还是听学姐讲解更舒服一些。

  而且两个人站一起一直不互动也蛮尴尬的。

  ……

  一小时后。

  真空计示数达到-5帕,升温程序也进入第二阶段,一切正常。

  十二分钟后。

  温度示数达到400摄氏度,膜厚仪显示的实时蒸镀速率,在-至埃每秒之间波动,膜厚显示仍为埃。

  三分钟后。

  温度示数继续增加,直至480摄氏度左右,蒸镀速率开始在至埃每秒之间波动。

  当温度达到520摄氏度后,蒸镀速率维持在至埃每秒。

  许秋先开启样品台旋转,在等待了约十秒钟后,同时打开样品挡板并将膜厚仪的膜厚计数器归零。

  钙要蒸镀10纳米的厚度,也就是100埃。

  待膜厚仪示数达到100埃时,许秋迅速关闭样品挡板。

  随后,他将束源炉升温数控装置关闭,让束源炉自然降温。

  最后,将膜厚仪的参数改为铝的参数。

  半小时后。

  束源炉的温度降低至77摄氏度。

  许秋关闭钙的束源炉挡板,打开电流加热装置。

  这个加热装置很简单,就是把电源、钨篓、电位器(类似于滑动变阻器)、保险丝、电流计连在一起,通过调节电位器,便可以改变电路中的电流大小。

  许秋缓慢扭动电位器的旋钮,使电流计示数从0逐渐增加至18安培。

  当电流达到16安培时,膜厚仪上蒸镀速率开始有了示数。

  电流达到18安培后,许秋等待了几秒,然后同时打开样品挡板并清零膜厚仪的膜厚计数器。

  蒸镀速率则先是从、迅

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